(FTMC pirkimas Nr. 80, PPP 1.011) Aplinkos atmosferai jautrių puslaidininkinių funkcinių, nanostruktūrizuotų sluoksnių cheminio nusodinimo ir jų terminio apdorojimo kompleksas
Valstybinis mokslinių tyrimų institutas Fizinių ir technologijos mokslų centrasGalioja iki 2019-06-10 13:00:00